CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
Сыркин В.Г.
Раздел: химия и науки о материалах
№-гранта: 98-03-46021
Книга посвящена изложению теории и практики CVD-метода (Chemical Vapor Deposition) - осаждению металлических пленок, покрытий, вискеров и высокодисперсных частиц из паровой (газовой) фазы летучих металлсодержащих соединений - карбонилов металлов, бис--циклопентадиенильных соединений (металлоцены), алкилов металлов, -дикстонатов металлов и галогенидов металлов. Описаны принципы выбора исходных веществ для CVD-металлиэации в вакууме, в несущем газе, в плазме газового разряда, при электронно-дуговом методе и при помощи лазера. Изложен материал по получению функциональных металлических пленок, покрытий и вискеров использующихся в радиоэлектронике, электронной технике, машиностроении, авиации, космонавтике и других отраслях науки и техники. Для широкого круга лиц, интересующихся вопросами получения металлов в виде различных модификаций, химиков, работающих с металлоорганическими соединениями и специализирующихся на методах их термической диссоциации
Использование материалов ЭБ РФФИ
(выдержка из пользовательского соглашения)
Воспроизведение материалов из ЭБ в любой форме требует письменного разрешения РФФИ. Пользователи вправе в индивидуальном порядке использовать материалы, находящиеся на сайте РФФИ, для некоммерческого использования.
Пользователь обязуется не осуществлять (и не пытаться получить) доступ к каким-либо материалам ЭБ иным способом, кроме как через интерфейс Сайта.
Пользователь обязуется не воспроизводить, не дублировать, не копировать, не продавать, не осуществлять торговые операции и не перепродавать материалы ЭБ для каких-либо целей.