CVD-метод. Химическое парофазное осаждение

ISBN:
5-02-001683-7
Издательство:
Наука
Год:
2000

Сыркин В.Г.

Раздел: химия и науки о материалах

№-гранта: 98-03-46021

Книга посвящена изложению теории и практики CVD-метода (Chemical Vapor Deposition) - осаждению металлических пленок, покрытий, вискеров и высокодисперсных частиц из паровой (газовой) фазы летучих металлсодержащих соединений - карбонилов металлов, бис--циклопентадиенильных соединений (металлоцены), алкилов металлов, -дикстонатов металлов и галогенидов металлов. Описаны принципы выбора исходных веществ для CVD-металлиэации в вакууме, в несущем газе, в плазме газового разряда, при электронно-дуговом методе и при помощи лазера. Изложен материал по получению функциональных металлических пленок, покрытий и вискеров использующихся в радиоэлектронике, электронной технике, машиностроении, авиации, космонавтике и других отраслях науки и техники. Для широкого круга лиц, интересующихся вопросами получения металлов в виде различных модификаций, химиков, работающих с металлоорганическими соединениями и специализирующихся на методах их термической диссоциации

Читать

Использование материалов ЭБ РФФИ

(выдержка из пользовательского соглашения)

Воспроизведение материалов из ЭБ в любой форме требует письменного разрешения РФФИ. Пользователи вправе в индивидуальном порядке использовать материалы, находящиеся на сайте РФФИ, для некоммерческого использования.

Пользователь обязуется не осуществлять (и не пытаться получить) доступ к каким-либо материалам ЭБ иным способом, кроме как через интерфейс Сайта.

Пользователь обязуется не воспроизводить, не дублировать, не копировать, не продавать, не осуществлять торговые операции и не перепродавать материалы ЭБ для каких-либо целей.

Другие произведения в разделе:

НазваниеАвторРубрикаНомер грантаТекст
1II Российский симпозиум по химии и биологии пептидов:Тезисы докладов и стендовых сообщенийнет данных химия и науки о материалах 05-04-58016
2«Маточное вещество» медоносных пчел: свойства, синтез, применение в пчеловодстве и шмелеводствеИшмуратова Н.М.
и др.
химия и науки о материалах, биология и медицинские науки 15-03-07002
3Адаптация внутрикамерных процессов и элементов конструкции энергоустановок на порошковом горючем к технологиям получения ультра- и нанодисперсных материалов: монографияКрюков А.Ю. химия и науки о материалах 11-08-07024
4Адсорбция, адсорбенты и адсорбционные процессы в нанопористых материалахнет данных физика и астрономия, химия и науки о материалах 11-03-07023
5Акустические свойства нанодисперсных магнитных жидкостейПолунин В.М. физика и астрономия, химия и науки о материалах 11-02-07030