Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

ISBN:
5-7417-0006-3
Издательство:
Изд-во МФТИ, Наука. Физматлит
Год:
1995

Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А.

Раздел: физика и астрономия

№-гранта: 00001146

Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.

Читать

Использование материалов ЭБ РФФИ

(выдержка из пользовательского соглашения)

Воспроизведение материалов из ЭБ в любой форме требует письменного разрешения РФФИ. Пользователи вправе в индивидуальном порядке использовать материалы, находящиеся на сайте РФФИ, для некоммерческого использования.

Пользователь обязуется не осуществлять (и не пытаться получить) доступ к каким-либо материалам ЭБ иным способом, кроме как через интерфейс Сайта.

Пользователь обязуется не воспроизводить, не дублировать, не копировать, не продавать, не осуществлять торговые операции и не перепродавать материалы ЭБ для каких-либо целей.

Другие произведения авторов:

НазваниеАвторРубрикаНомер грантаТекст
1Физика молнии и молниезащитыБазелян Э.М., Райзер Ю.П. физика и астрономия 00-02-30318
2Искровой разрядБазелян Э.М., Райзер Ю.П. физика и астрономия 96-02-30042
3Физика газового разрядаРайзер Ю.П. физика и астрономия 09-02-07050Д

Другие произведения в разделе:

НазваниеАвторРубрикаНомер грантаТекст
1А. И. Ларкин. Собрание трудов. Том 2Ларкин А.И. физика и астрономия 09-02-07039-д
2АТОМ-М : Алгоритмы и программы для исследования атомных и молекулярных процессовАмусья М.Я.
и др.
физика и астрономия 16-12-00041
3Адаптивная коррекция атмосферных искажений оптических изображений на основе искусственного опорного источникаБольбасова Л.А., Лукин В.П. физика и астрономия 11-08-07003-д
4Адаптивные методы обработки спекл-модулированных оптических полейКульчин Ю.Н.
и др.
физика и астрономия 09-02-07016
5Адсорбция, адсорбенты и адсорбционные процессы в нанопористых материалахнет данных физика и астрономия, химия и науки о материалах 11-03-07023