Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
- ISBN:
- 5-7417-0006-3
- Издательство:
- Изд-во МФТИ, Наука. Физматлит
- Год:
- 1995
Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А.
Раздел: физика и астрономия
№-гранта: 00001146
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.
Использование материалов ЭБ РФФИ
(выдержка из пользовательского соглашения)
Воспроизведение материалов из ЭБ в любой форме требует письменного разрешения РФФИ. Пользователи вправе в индивидуальном порядке использовать материалы, находящиеся на сайте РФФИ, для некоммерческого использования.
Пользователь обязуется не осуществлять (и не пытаться получить) доступ к каким-либо материалам ЭБ иным способом, кроме как через интерфейс Сайта.
Пользователь обязуется не воспроизводить, не дублировать, не копировать, не продавать, не осуществлять торговые операции и не перепродавать материалы ЭБ для каких-либо целей.
Другие произведения автора:
| № | Название | Автор | Рубрика | Номер гранта | Текст |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Физика газового разряда | Райзер Ю.П. | физика и астрономия | 09-02-07050Д |  |
| 2 | Искровой разряд | Базелян Э.М. Райзер Ю.П. | физика и астрономия | 96-02-30042 | |
| 3 | Физика молнии и молниезащиты | Базелян Э.М. Райзер Ю.П. | физика и астрономия | 00-02-30318 | |
Другие произведения в разделе:
