Нанотехнологии в микроэлектронике
- ISBN:
- 978-5-02-040201-0
- Издательство:
- Наука
- Год:
- 2019
Раздел: инфокоммуникационные технологии и вычислительные системы
№-гранта: 19-17-00004
Под ред. О.А. Агеева, Б.Г. Коноплёва. Авторы: Авдеев С.П., Авилов В.И., Агеев В.О., Агеев О.А., Алябьева Н.И., Балакирев С.В., Блинов Ю.Ф., Бондарев Ф.М., Быков Ал. В., Вакулов З.Е., Варзарев Ю.Н., Волков Е.Ю., Громов А.Л., Гусев Е.Ю., Денисенко М.А., Ежова О.А., Еременко М.М., Житяев И.Л., Житяева Ю.Ю., Замбург Е.Г., Ильина М.В., Ильин О.И., Исаева А.С., Климин В.С., Коломийцев А.С., Коноплёв Б.Г., Коц И.Н., Лисицын С.А., Лысенко И.Е., Михайлин И.А., Михайличенко А.В., Писаренко И.В., Приступчик Н.К., Рудык Н.Н., Рындин Е.А., Смирнов В.А., Светличный А.М., Солодовник М.С., Сюрик Ю.В., Томинов Р.В., Федотов А.А., Хахулин Д.А. Чередниченко Д.И.В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
Использование материалов ЭБ РФФИ
(выдержка из пользовательского соглашения)
Воспроизведение материалов из ЭБ в любой форме требует письменного разрешения РФФИ. Пользователи вправе в индивидуальном порядке использовать материалы, находящиеся на сайте РФФИ, для некоммерческого использования.
Пользователь обязуется не осуществлять (и не пытаться получить) доступ к каким-либо материалам ЭБ иным способом, кроме как через интерфейс Сайта.
Пользователь обязуется не воспроизводить, не дублировать, не копировать, не продавать, не осуществлять торговые операции и не перепродавать материалы ЭБ для каких-либо целей.
Другие произведения в разделе:
