КОЛОНКА ТЕМАТИЧЕСКОГО РЕДАКТОРА
О редакторе тематического блока академике А.С. Сигове
Аннотация к тематическому блоку
ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Гибридные органосиликатные low-k-диэлектрики с бензольными мостиковыми группами с повышенной механической прочностью и малым размером пор для современной BEOL металлизации. А.А. Резванов, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, А.А. Ломов, К.А. Воротилов, М.Р. Бакланов
Исследование тонких пористых пленок на основе прекурсора, содержащего фениленовые мостиковые группы. Д.А. Воротынцев, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, М.Р. Бакланов
Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе рутения. А.Е. Рогожин, О.О. Пермякова, Е.А. Смирнова, А.А. Ломов, С.Г. Симакин, К.В. Руденко
Основные аспекты формирования металлизации в субдесятинанометровой технологии изготовления интегральных схем. И.И. Амиров, А.Н. Куприянов, В.В. Наумов, М.О. Изюмов, Д.Г. Волошин, А.Н. Кропоткин, Д.В. Лопаев, Т.В. Рахимова
Температурные эффекты и механизмы воздействия атомов O, N и F на SiOCH нанопористые диэлектрики. Д.В. Лопаев, Т.В. Рахимова, Ю.А. Манкелевич, Е.Н. Воронина
Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала. А.В. Мяконьких, Р.А. Гайдукасов, В.О. Кузьменко
Анализ возможности независимого регулирования различных параметров плазмы ВЧ несамостоятельного разряда с дополнительной ионизацией электронным пучком. М.А. Богданова, Д.В. Лопаев, О.В. Прошина, Т.В. Рахимова, А.Т. Рахимов
Исследование ВУФ-излучения плазмы и структуры магнетронного разряда постоянного тока. А.Ф. Паль, А.Н. Рябинкин, А.О. Серов, Д.В. Лопаев, Ю.А. Манкелевич, А.Т. Рахимов, Т.В. Рахимова
Определение электродинамических параметров тонких пленок в составе гетероструктур методами терагерцевой и инфракрасной спектроскопии. Г.А. Командин, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, К.А. Воротилов, К.В. Руденко, А.В. Мяконьких, И.Е. Спектор
Функциональные межсоединения на основе квазидвумерных и трехмерных магнонных структур в латеральных и вертикальных топологиях. А.В. Садовников, А.А. Мартышкин
Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС. Е.А. Вилков, С.С. Сафонов, А.Г. Темирязев, А.С. Федоров, А.А. Федорова, М.В. Логунов