Вестник РФФИ, издание на русском языке
ISSN 2410-4639 (Online),
ISSN 1605-8070 (Print)
2(118) апрель-июнь 2023 года
ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Скачать номер полностью (6.39МБ)Содержание
КОЛОНКА ТЕМАТИЧЕСКОГО РЕДАКТОРА
ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- Гибридные органосиликатные low-k-диэлектрики с бензольными мостиковыми группами с повышенной механической прочностью и малым размером пор для современной BEOL металлизации. А.А. Резванов, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, А.А. Ломов, К.А. Воротилов, М.Р. Бакланов
- Исследование тонких пористых пленок на основе прекурсора, содержащего фениленовые мостиковые группы. Д.А. Воротынцев, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, М.Р. Бакланов
- Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе рутения. А.Е. Рогожин, О.О. Пермякова, Е.А. Смирнова, А.А. Ломов, С.Г. Симакин, К.В. Руденко
- Основные аспекты формирования металлизации в субдесятинанометровой технологии изготовления интегральных схем. И.И. Амиров, А.Н. Куприянов, В.В. Наумов, М.О. Изюмов, Д.Г. Волошин, А.Н. Кропоткин, Д.В. Лопаев, Т.В. Рахимова
- Температурные эффекты и механизмы воздействия атомов O, N и F на SiOCH нанопористые диэлектрики. Д.В. Лопаев, Т.В. Рахимова, Ю.А. Манкелевич, Е.Н. Воронина
- Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала. А.В. Мяконьких, Р.А. Гайдукасов, В.О. Кузьменко
- Анализ возможности независимого регулирования различных параметров плазмы ВЧ несамостоятельного разряда с дополнительной ионизацией электронным пучком. М.А. Богданова, Д.В. Лопаев, О.В. Прошина, Т.В. Рахимова, А.Т. Рахимов
- Исследование ВУФ-излучения плазмы и структуры магнетронного разряда постоянного тока. А.Ф. Паль, А.Н. Рябинкин, А.О. Серов, Д.В. Лопаев, Ю.А. Манкелевич, А.Т. Рахимов, Т.В. Рахимова
- Определение электродинамических параметров тонких пленок в составе гетероструктур методами терагерцевой и инфракрасной спектроскопии. Г.А. Командин, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, К.А. Воротилов, К.В. Руденко, А.В. Мяконьких, И.Е. Спектор
- Функциональные межсоединения на основе квазидвумерных и трехмерных магнонных структур в латеральных и вертикальных топологиях. А.В. Садовников, А.А. Мартышкин
- Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС. Е.А. Вилков, С.С. Сафонов, А.Г. Темирязев, А.С. Федоров, А.А. Федорова, М.В. Логунов