Вернуться в библиотеку

Гибридные органосиликатные low-k-диэлектрики с бензольными мостиковыми группами с повышенной механической прочностью и малым размером пор для современной BEOL металлизации. А.А. Резванов, А.С. Вишневский, Д.С. Серегин, А.А. Ломов, К.А. Воротилов, М.Р. Бакланов