Разработка фундаментальных основ химически управляемого синтеза функциональных наноразмерных пленок на полупроводниках А3В5 для опто- и микроэлектроники, газочувствительных сенсоров
Номер гранта: | 18-03-00354 |
Область научного знания: | химия и науки о материалах |
Тип конкурса: | (а)(а) конкурс проектов фундаментальных научных исследований |
Год выполнения: | 2018г. |
Руководитель: | Миттова ИринаЯковлевна |
Статус заявки: | поддержана |
Аннотация к заявке:
Проект посвящен разработке методов химически управляемого синтеза функциональных наноразмерных пленок на поверхности полупроводников А3В5 с широким диапазоном варьируемых свойств для опто- и микроэлектроники. Новизна планируемых исследований заключается в использовании наряду с соединениями-хемостимуляторами модификаторов внутренней границы раздела гетероструктур и самих плёнок. Будучи добавленными в систему до оксидирования полупроводника или непосредственно в процессе, эти соединения обеспечат получение плёнок с заданными целевыми характеристиками. Химическое управление процессом за счет таких вводимых в систему соединений позволит реализовать быстрый синтез продуктов с прецизионно контролируемыми свойствами в достаточно просто аппаратурно оформленных, экономически малозатратных условиях. Будут созданы фундаментальные основы химически управляемого синтеза функциональных наноразмерных пленок для опто- и микроэлектроники, газочувствительных сенсоров на полупроводниках А3В5 под воздействием а) хемостимуляторов; б) модификаторов; в) их совместного влияния; базирующиеся на сформулированных принципах выбора управляющих соединений и механизмов формирования наноразмерных наноструктурированных пленок с варьируемыми в широких пределах свойствами. Значимость результатов заключается в разработке новых процессов формирования наноразмерных (в диапазоне толщин до 100 нм) оксидных пленок для опто- и микроэлектроники и приемов управления посредством хемостимуляторов и модификаторов их скоростью роста, наноструктурой, электрофизическими и оптическими характеристиками.
Аннотации к заявке и отчету приведены в авторской редакции.
по состоянию на 28.03.2024.