На конкурс по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» зарегистрировано 30 заявок.
Список поступивших заявок
Руководитель | Номер проекта | Название проекта |
Авдеев С. П. | 18-29-27032 | Электронно-лучевая модификация пористых пленок low-k диэлектриков |
Амиров И. И. | 18-29-27017 | Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем |
Бакланов М. Р. | 18-29-27022 | Субтрактивная интеграция low-k материалов в суб-5 нм технологии: анализ критических свойств и процессов |
Барабаненков М. Ю. | 18-29-27021 | Оптическая коммутация на основе распространения электромагнитного возбуждения по цепочкам и двумерным решеткам наночастиц |
Волощенко П. Ю. | 18-29-27027 | Разработка математических моделей и методов расчета энергоэффективных логических элементов и многоуровневые узлов ультрабольших интегральных схем гига- и терагерцового диапазонов |
Воронина Е. Н. | 18-29-27011 | Исследование механизмов воздействия радикалов, ионов и молекул на структуру и свойства квазидвумерных полупроводниковых материалов |
Воротилов К. А. | 18-29-27024 | Новое поколение low-k материалов с использованием процессов молекулярной самосборки: методы формирования и свойства |
Гриценко В. А. | 18-29-27006 | Изучение механизмов проводимости и выявление природы ловушек в low-k диэлектриках нового поколения с упорядоченной мезопористой структурой и органическими мостиками между атомами кремния |
Зенкин С. П. | 18-29-27016 | Разработка научных основ ионно-индуцированного инжиниринга фазовой и зеренной структуры высокоэнтропийных барьерных слоев на основе переходных металлов для новых поколений систем металлизации интегральных схем. |
Игнатьев А. А. | 18-29-27014 | Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции физических явлений и эффектов в комбинированных датчиках многомерной информации для применения в многоуровневых системах с использованием ультрабольших интегральных схем |
Калябин Д. В. | 18-29-27018 | Разработка фундаментальных основ элементной базы магнонной спинтроники на основе двух- и трехмерных гетероструктур из ферромагнетиков, тяжелых металлов, полупроводников и углеродных материалов. |
Климин В. С. | 18-29-27028 | Разработка методик зондовой нанодиагностики свойств пористых low-k диэлектриков |
Командин Г. А. | 18-29-27010 | Широкополосная спектроскопия low-k диэлектриков для создания новых методов контроля их электрофизических свойств и пористости структуры |
Косинова М. Л. | 18-29-27013 | Новые возможности использования летучих кремнийсодержащих соединений для получения диэлектрических пленок a-SiCxOy:H |
Логунов М. В. | 18-29-27020 | Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС |
Лопаев Д. В. | 18-29-27003 | Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления |
Мяконьких А. В. | 18-29-27025 | Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала |
Николаевцев В. А. | 18-29-27008 | Исследование возможности повышения быстродействия УБИС при использовании в межсоединениях линий передачи с частично удаленным low-k диэлектриком |
Ожегов Р. В. | 18-29-27031 | Разработка и исследование компактных, надежных и энергоэффективных межчиповых и внутрисхемных приемо-передаточных оптических межсоединений на основе нитрида кремния |
Рахимов А. Т. | 18-29-27001 | Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность |
Рогожин А. Е. | 18-29-27029 | Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе меди и кобальта |
Рындин Е. А. | 18-29-27004 | Исследование и разработка принципов построения, методик моделирования и технологических основ функционально-интегрированных лазеров-модуляторов для многоуровневых систем оптических межсоединений быстродействующих ультрабольших интегральных схем |
Садовников А. В. | 18-29-27026 | Системы функциональных межсоединений УБИС на основе квазидвумерных и трехмерных магнонных структур в латеральных и вертикальных топологиях |
Семенов А. В. | 18-29-27023 | Метод оптического тестирования интегральных микросхем с пикосекундным временным разрешением |
Семенова О. И. | 18-29-27002 | Разработка процессов осаждения из газовой фазы диэлектрических пленок SiCxNy:H - диффузионных барьеров для систем металлизации на основе меди и кобальта |
Скворцов А. А. | 18-29-27005 | Тепловая деградация систем металлизации ультрабольших интегральных схем |
Смирнов А. С. | 18-29-27019 | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния при низкой концентрации атомарного фтора |
Сучков С. Г. | 18-29-27007 | Разработка физических основ акустических и тепловых методов контроля механических и теплопроводящих свойств пористых low-k диэлектриков |
Терещенко А. Н. | 18-29-27030 | Новые подходы к созданию высокоэффективных светоизлучающих структур на основе кремния для оптических межсоединений на чипе |
Юрьев Ю. Н. | 18-29-27012 | Фундаментальные аспекты формирования систем металлизации Cu-W/VNx для СБИС нового поколения |