Заявки, поступившие на конкурс лучших научных проектов междисциплинарных фундаментальных исследований 2018г. (конкурс «мк», тема 26-827)

На конкурс по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» зарегистрировано 30 заявок.

Список поступивших заявок

Руководитель

Номер проекта

Название проекта

Авдеев С. П.

18-29-27032

Электронно-лучевая модификация пористых пленок low-k диэлектриков

Амиров И. И.

18-29-27017

Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем

Бакланов М. Р.

18-29-27022

Субтрактивная интеграция low-k материалов в суб-5 нм технологии: анализ критических свойств и процессов

Барабаненков М. Ю.

18-29-27021

Оптическая коммутация на основе распространения электромагнитного возбуждения по цепочкам и двумерным решеткам наночастиц

Волощенко П. Ю.

18-29-27027

Разработка математических моделей и методов расчета энергоэффективных логических элементов и многоуровневые узлов ультрабольших интегральных схем гига- и терагерцового диапазонов

Воронина Е. Н.

18-29-27011

Исследование механизмов воздействия радикалов, ионов и молекул на структуру и свойства квазидвумерных полупроводниковых материалов

Воротилов К. А.

18-29-27024

Новое поколение low-k материалов с использованием процессов молекулярной самосборки: методы формирования и свойства

Гриценко В. А.

18-29-27006

Изучение механизмов проводимости и выявление природы ловушек в low-k диэлектриках нового поколения с упорядоченной мезопористой структурой и органическими мостиками между атомами кремния

Зенкин С. П.

18-29-27016

Разработка научных основ ионно-индуцированного инжиниринга фазовой и зеренной структуры высокоэнтропийных барьерных слоев на основе переходных металлов для новых поколений систем металлизации интегральных схем.

Игнатьев А. А.

18-29-27014

Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции физических явлений и эффектов в комбинированных датчиках многомерной информации для применения в многоуровневых системах с использованием ультрабольших интегральных схем

Калябин Д. В.

18-29-27018

Разработка фундаментальных основ элементной базы магнонной спинтроники на основе двух- и трехмерных гетероструктур из ферромагнетиков, тяжелых металлов, полупроводников и углеродных материалов.

Климин В. С.

18-29-27028

Разработка методик зондовой нанодиагностики свойств пористых low-k диэлектриков

Командин Г. А.

18-29-27010

Широкополосная спектроскопия low-k диэлектриков для создания новых методов контроля их электрофизических свойств и пористости структуры

Косинова М. Л.

18-29-27013

Новые возможности использования летучих кремнийсодержащих соединений для получения диэлектрических пленок a-SiCxOy:H

Логунов М. В.

18-29-27020

Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС

Лопаев Д. В.

18-29-27003

Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления

Мяконьких А. В.

18-29-27025

Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала

Николаевцев В. А.

18-29-27008

Исследование возможности повышения быстродействия УБИС при использовании в межсоединениях линий передачи с частично удаленным low-k диэлектриком

Ожегов Р. В.

18-29-27031

Разработка и исследование компактных, надежных и энергоэффективных межчиповых и внутрисхемных приемо-передаточных оптических межсоединений на основе нитрида кремния

Рахимов А. Т.

18-29-27001

Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность

Рогожин А. Е.

18-29-27029

Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе меди и кобальта

Рындин Е. А.

18-29-27004

Исследование и разработка принципов построения, методик моделирования и технологических основ функционально-интегрированных лазеров-модуляторов для многоуровневых систем оптических межсоединений быстродействующих ультрабольших интегральных схем

Садовников А. В.

18-29-27026

Системы функциональных межсоединений УБИС на основе квазидвумерных и трехмерных магнонных структур в латеральных и вертикальных топологиях

Семенов А. В.

18-29-27023

Метод оптического тестирования интегральных микросхем с пикосекундным временным разрешением

Семенова О. И.

18-29-27002

Разработка процессов осаждения из газовой фазы диэлектрических пленок SiCxNy:H - диффузионных барьеров для систем металлизации на основе меди и кобальта

Скворцов А. А.

18-29-27005

Тепловая деградация систем металлизации ультрабольших интегральных схем

Смирнов А. С.

18-29-27019

Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния при низкой концентрации атомарного фтора

Сучков С. Г.

18-29-27007

Разработка физических основ акустических и тепловых методов контроля механических и теплопроводящих свойств пористых low-k диэлектриков

Терещенко А. Н.

18-29-27030

Новые подходы к созданию высокоэффективных светоизлучающих структур на основе кремния для оптических межсоединений на чипе

Юрьев Ю. Н.

18-29-27012

Фундаментальные аспекты формирования систем металлизации Cu-W/VNx для СБИС нового поколения

Вы можете отметить интересные вам фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.

Помог ли вам материал?
0    0