Итоги конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований 2018 года (конкурс «мк», тема 26-827)

На конкурс по теме 26-827 «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» поступило 30 заявок, по результатам экспертизы поддержано – 14 проектов.

Список поддержанных проектов

Руководитель

Номер проекта

Название проекта

Амиров И. И.

18-29-27017

Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем

Бакланов М. Р.

18-29-27022

Субтрактивная интеграция low-k материалов в суб-5 нм технологии: анализ критических свойств и процессов

Воротилов К. А.

18-29-27024

Новое поколение low-k материалов с использованием процессов молекулярной самосборки: методы формирования и свойства

Гриценко В. А.

18-29-27006

Изучение механизмов проводимости и выявление природы ловушек в low-k диэлектриках нового поколения с упорядоченной мезопористой структурой и органическими мостиками между атомами кремния

Калябин Д. В.

18-29-27018

Разработка фундаментальных основ элементной базы магнонной спинтроники на основе двух- и трехмерных гетероструктур из ферромагнетиков, тяжелых металлов, полупроводников и углеродных материалов.

Командин Г. А.

18-29-27010

Широкополосная спектроскопия low-k диэлектриков для создания новых методов контроля их электрофизических свойств и пористости структуры

Логунов М. В.

18-29-27020

Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС

Лопаев Д. В.

18-29-27003

Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления

Мяконьких А. В.

18-29-27025

Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала

Ожегов Р. В.

18-29-27031

Разработка и исследование компактных, надежных и энергоэффективных межчиповых и внутрисхемных приемо-передаточных оптических межсоединений на основе нитрида кремния

Рахимов А. Т.

18-29-27001

Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность

Рогожин А. Е.

18-29-27029

Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе меди и кобальта

Садовников А. В.

18-29-27026

Системы функциональных межсоединений УБИС на основе квазидвумерных и трехмерных магнонных структур в латеральных и вертикальных топологиях

Скворцов А. А.

18-29-27005

Тепловая деградация систем металлизации ультрабольших интегральных схем

Помог ли вам материал?
0    0
Оставить комментарий
Пользователь с таким email уже зарегистрирован на сайте.
Для входа на сайт введите пароль

Неверные логин или пароль

Оставляя комментарий к опубликованным материалам, не авторизовавшись или не зарегистрировавшись, система произведет автоматическое создание вашего профиля. Система пришлет на указанный Вами адрес электронной почты данные для входа: ваши логин и пароль. После регистрации Вы сможете создать полнофункциональный профиль пользователя и использовать все интерактивные функции портала. Для продолжения необходимо ввести слово с картинки.
Вы ввели неверный код. Пожалуйста, введите текст с изображения снова.